[发明专利]一种化学机械抛光设备及使用方法在审
| 申请号： | 202010642321.7 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN111941262A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 李伟伟;陈蕾 | 申请（专利权）人： | 南京灵雀智能制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/22;B24B57/02 |
| 代理公司： | 南京泰普专利代理事务所(普通合伙) 32360 | 代理人： | 窦贤宇 |
| 地址： | 211100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光设备及使用方法，属于机械抛光技术领域，一种化学机械抛光设备，包括第一箱体、支撑罩和零件本体，所述支撑罩上设有移动机构，所述移动机构底部设有升降机构，所述升降机构内设有第二电机，所述第二电机的输出端设有与零件本体相互配合的抛光盘，所述支撑罩侧壁转动连接有第一转轴，所述第一转轴远离支撑罩的一端固定连接有第二支撑板，所述支撑罩侧壁还固定连接有第二气缸；本发明构造简单，操作便捷，通过凸轮和活塞板的相互配合，提高了抛光效率的同时有使抛光液随着机械零件的转动速度自动改变喷出量，实用性大大改善。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 设备 使用方法 | ||
【主权项】：
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