[发明专利]半导体石墨热场保温装置及其保温方法在审

专利信息
申请号: 202010651992.X 申请日: 2020-07-08
公开(公告)号: CN111981842A 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 郭志宏;张培林;武建军;柴利春;张作文;王志辉 申请(专利权)人: 大同新成新材料股份有限公司
主分类号: F27B14/00 分类号: F27B14/00;F27B14/08;F27B14/10;F27B14/14;F27B14/12;F27D1/18;F27D17/00;F27D99/00
代理公司: 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 代理人: 杨凯;连慧敏
地址: 037002 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明公开了半导体石墨热场保温装置,包括底筒、铰接组件、点火组件、密封机构、升降机构,所述底筒为顶面敞口且竖向放置的圆形筒状,所述底筒内安装有坩埚筒,所述坩埚筒的外侧部通过四组铰接组件与底筒内侧壁活动铰接,所述坩埚筒的底部安装有点火组件;所述外盖底面通过密封机构与底筒顶面连接,所述坩埚筒的顶面敞口处设有坩埚盖,所述坩埚盖通过升降机构与外盖连接。本发明还公开了半导体石墨热场保温装置的保温方法;本发明解决了结构石墨热场保温密封性差的问题,通过各机构组件的配合使用,增加了热场的保温效果,降低热量的损失,进一步提高了能量的利用率。
搜索关键词: 半导体 石墨 保温 装置 及其 方法
【主权项】:
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