[发明专利]非接触式薄膜水氧透过性能测试装置及其生产工艺在审
| 申请号： | 202010661206.4 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111987235A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 魏斌;陈果;孙阿辉;庞玉东 | 申请（专利权）人： | 绍兴秀朗光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/50 | 分类号： | H01L51/50;H01L51/56;G01N21/66 |
| 代理公司： | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人： | 邓爱民 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市柯*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明提供一种非接触式薄膜水氧透过性能测试装置及其生产工艺，包括Al |
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| 搜索关键词： | 接触 薄膜 透过 性能 测试 装置 及其 生产工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
