[发明专利]一种MEMS扬声器及其制造工艺有效
| 申请号： | 202010663564.9 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111918188B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 朱国;程诗阳;吴健兴;但强;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/02 | 分类号： | H04R19/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 田丽丽 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS扬声器及其制造工艺，该MEMS扬声器包括基底、活塞板、驱动组件以及柔性导向件，该基底形成有空腔，该活塞板活动设置在空腔内，驱动组件连接于所述活塞板，用于驱动所述活塞板沿着所述空腔做往复运动，柔性导向件和所述活塞板形成一体化结构，且所述柔性导向件设置在所述基底和所述活塞板之间，用于使所述活塞板沿预设路径运动。本发明由于柔性导向件和活塞板形成一体化结构，使得MEMS扬声器在结构上更为简单，并且柔性导向件和活塞板可以同步成型，还有利于简化制造工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 扬声器 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
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