[发明专利]MEMS声传感器在审
| 申请号： | 202010664854.5 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111787474A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 赵转转;柏杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳紫辰知识产权代理有限公司 44602 | 代理人： | 万鹏 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS声传感器，其包括具有背腔的基底以及固定于所述基底的电容系统，所述电容系统包括振膜及与所述振膜相对且间隔设置的背极板，所述振膜和所述背极板之间形成绝缘间隙，所述背极板包括电极层及设于所述电极层朝向所述振膜一侧的第一绝缘层，所述背极板上贯穿设有通孔，所述通孔包括贯穿所述电极层的第一通孔和贯穿所述第一绝缘层的第二通孔，所述第二通孔靠近所述振膜一侧的孔径大于所述第一通孔的孔径。与相关技术相比，本发明的MEMS声传感器设计减小振膜阻尼的结构来提高信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 | ||
【主权项】：
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