[发明专利]一种半导体石墨坩埚测温设备及其测温方法有效
| 申请号： | 202010669597.4 | 申请日： | 2020-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN111982319B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 郭志宏;张培林;武建军;柴利春;张作文;王志辉 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K1/14 | 分类号： | G01K1/14 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 037002 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体石墨坩埚测温设备及其测温方法，包括夹紧机构、保护机构、测温机构和底座，所述保护机构固定设置在所述底座内部，所述夹紧机构固定设置在所述底座上端，所述测温机构固定设置在所述夹紧机构下方；本发明还公开了一种半导体石墨坩埚测温设备的测温方法。本发明的有益效果是：本发明设计的下压杆在受到坩埚的挤压后，会向下运动带动移动杆运动，进一步可以带动气压杆移动，从而对气囊进行充气，从而可以对坩埚进行固定和保护，可以适应不同大小的坩埚，本发明设计的第四滑块与第五滑块在转动杆转动时会做相向运动，从而会带动转动圆盘转动，从而可以带动测温管对坩埚内部各个位置进行测温。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 石墨 坩埚 测温 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
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