[发明专利]蒸镀掩膜版及显示面板在审
申请号: | 202010676472.4 | 申请日: | 2020-07-14 |
公开(公告)号: | CN111676447A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 张浩瀚;李彦松;白珊珊;刘佳 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种蒸镀掩膜版及显示面板,涉及显示技术领域,可以解决待蒸镀基板中的隔垫物被蒸镀掩膜版划伤的问题,该蒸镀掩膜版设置于蒸镀源和待蒸镀基板之间;所述待蒸镀基板靠近所述蒸镀源的一侧具有至少一个隔垫物;所述蒸镀掩膜版包括:掩膜版本体,所述掩膜版本体包括多个蒸镀开口以及位于所述蒸镀开口周边的遮挡部;所述遮挡部具有远离所述蒸镀源的第一表面;所述蒸镀掩膜版还包括多个支撑部,所述多个支撑部设置于所述第一表面上,至少两个支撑部与所述第一表面形成用于容纳所述隔垫物的容纳腔;所述支撑部用于与所述待蒸镀基板相接触,并支撑所述掩膜版本体,使得所述第一表面与所述隔垫物之间具有间隙。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀掩膜版 显示 面板 | ||
【主权项】:
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