[发明专利]封装基板制作方法在审
申请号: | 202010679169.X | 申请日: | 2020-07-15 |
公开(公告)号: | CN111564374A | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 陈先明;冯磊;黄本霞;冯进东;王闻师 | 申请(专利权)人: | 珠海越亚半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 张志辉 |
地址: | 519175 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请公开了一种封装基板制作方法,该方法包括步骤:提供承载板,在承载板上制作第一线路层;在第一线路层上表面制作空腔图案,沉积并刻蚀金属形成金属腔体,在金属腔体表面压合介质层并减薄,露出金属腔体上表面;去除承载板,刻蚀掉金属腔体露出空腔,在空腔表面和侧壁以及介质层表面沉积金属并进行图案制作和刻蚀,形成第二线路层;分别在第一线路层和第二线路层表面对应形成第一阻焊层和第二阻焊层并对第一阻焊层或第二阻焊层进行图案制作形成焊盘;切割空腔、第一线路层、第二线路层、第一阻焊层和第二阻焊层。本申请的封装基板制作方法可以将封装器件的焊接测试点连接至基板侧边,通过基板侧边进行电子元器件与PCB的焊接检测。 | ||
搜索关键词: | 封装 制作方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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