[发明专利]太阳能电池结构及其制备方法

摘要

本发明涉及一种太阳能电池结构及其制备方法，包括：提供基底，于基底的第一表面依次形成第一本征层和背场；对背场的预定位置进行腐蚀，以于背场内形成凹槽，凹槽沿厚度方向贯穿背场以暴露出第一本征层的表面；于凹槽内和背场表面形成发射极。上述太阳能电池结构及其制备方法，通过在基底的第一表面上依次形成第一本征层和背场，并采用腐蚀的方式在背场的预定位置处进行腐蚀形成凹槽，通过控制腐蚀速率，使得腐蚀浆料仅能腐蚀背场，并停止于第一本征层的表面，然后在凹槽内和背场表面形成发射极，从而避免了采用掩膜板沉积形成发射极和背场时由于硅片存在的公差导致的掩膜板对位不准，提高了太阳能电池结构的精度。