[发明专利]一种氟化钇薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202010681953.4 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113753938A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 陈如明;姜蕻;蔡勇 | 申请（专利权）人： | 英迪那米（徐州）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C01F17/265 | 分类号： | C01F17/265;C01F17/10 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 徐小淇 |
| 地址： | 221600 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氟化钇薄膜的制备方法，步骤1：将水合硝酸钇、氟化铵按照摩尔配比1:3.05‑1:3.75混合均匀；步骤2：将胶状物干燥得到胶态物质；步骤3：将胶态物质置于高温炉中；步骤4：胶态物质研磨得到粉末；步骤5：将粉末在惰性气体保护下得到纳米级粉末；步骤6：将纳米级粉末采取浸渍提拉法或旋转涂覆法制膜；步骤7：将湿膜烘干、冷得到薄膜；步骤8：将薄膜退火处理，随炉冷却后得到氟化钇薄膜。本发明氟化钇薄膜的制备方法与现有的技术相比，制备的氟化钇薄膜表面光滑，具有良好的超导特性，且薄膜制备成本低、工艺简单且容易控制；热处理工艺周期大大缩短，薄膜制备效率大大提高，膜层结合牢固，很难破裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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