[发明专利]一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法

摘要

本发明公开了一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法，首先将原始gds文件数字化处理，并利用建立的光学模型进行仿真，然后利用邻近区域能量求和法得到对应的能量分布图；接着利用阈值法将所述能量分布图转化为二值图后，根据所述二值图上的角能量判定点和边能量判定点对应位置上的能量值与能量阈值的比较，按照指定像素值进行像素的加减，多次迭代直至满足要求后，转化为gds文件并保存，能够对畸变进行校正，提升图案质量。