[发明专利]具有水平调整模块的测试设备在审
| 申请号： | 202010684861.1 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN114019334A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 吴国荣;江登鑫;林修颐 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具有水平调整模块的测试设备，包括有一测试头、一测试界面以及一针测机。测试界面包括一上基板、一下基板以及一水平调整模块，上基板以多个拉伸弹簧连接测试头。水平调整模块包括多个驱动组件，该每一驱动组件分别连接上基板及下基板，包括一驱动马达及一万向接头，用以调整上基板与下基板间不同位置处的间距大小。针测机承载测试界面，具有一可与下基板搭接的探针卡。借此，本发明可调整探针卡特定区域的探针高度，使整体针尖水平达到所需的测试规范，维持针测机的测试品质。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 水平 调整 模块 测试 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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