[发明专利]激光阵列式三维检测设备、检测用“激光虚线”生成方法在审
| 申请号： | 202010685337.6 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111624205A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 宫恋 | 申请（专利权）人： | 宫恋 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光阵列式三维检测设备、检测用“激光虚线”生成方法，该检测设备包括机体、承载台及控制系统；所述机体包括发射模块、检测模块、解析模块；所述发射模块包括激光单元、一个聚焦透镜；采用检测用“激光虚线”生成方法，使各激光单元发出的光线以不同的入射角从所述聚焦透镜的焦点经过后从聚焦透镜折射透过；光线经聚焦透镜折射后形成光功率强度均衡、彼此平行的激光束；所述激光束照射在待检测的芯片表面形成“激光虚线”；在控制系统的协调控制下实现对芯片表面的检测；旨在提供一种结构简单、价格低廉且能够满足企业各阶段发产需求的检测设备，有效满足检测需求、控制检测设备的成本投入，满足企业个性化的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 阵列 三维 检测 设备 虚线 生成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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