[发明专利]一种新型节能半导体石墨热场在审
| 申请号： | 202010685918.X | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111926383A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 武建军;张培林;柴利春;张作文;王志辉 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 037002 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型节能半导体石墨热场，包括外壳，所述外壳内部底部的中间位置设置有电动升降杆，所述电动升降杆的顶部设置有底座，所述底座的顶部设置有坩埚，所述坩埚的外侧设置有多组吸热片，所述外壳内侧的中间位置处设置有保温筒，所述保温筒的内侧设置有石墨软毡保温层，所述外壳内部一端两侧的中间位置对称设置有加热管，所述外壳一侧底部的中间位置设置有抽气泵，所述抽气泵的输入端设置有通气管，且通气管的一侧延伸至外壳的内部；本发明装置石墨毡保温层具有良好的保温作用，能够耐高温，是单晶炉内主要的保温结构，然而石墨毡本身在高温条件下容易发生氧化，且易碎。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 节能 半导体 石墨 | ||
【主权项】：
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