[发明专利]一种GPP工艺光刻硅片吸盘在审
| 申请号： | 202010687610.9 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111812950A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 魏运秀 | 申请（专利权）人： | 赣州市业润自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G47/91 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 341003 江西省赣州市赣州经济开发*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种GPP工艺光刻硅片吸盘，包括吸附盘和连接盘，吸附盘和连接盘形成的第一真空腔、第二真空腔和第三真空腔，第二真空腔和第三真空腔通过设置在连接盘上的通孔相通；第一真空腔的底面上成型有多个圆周均布的第一阀孔，第一阀孔内套接有顶杆，顶杆通过弹簧固定连接有弹簧固定环，弹簧固定环固定在第一阀孔内；第一真空腔和第二真空腔之间设有第二阀孔，第二阀孔的外端成型有球形内壁，第二阀孔内套接有顶珠，顶珠连接有压簧；所述连接板上成型有与第一真空腔相通的负压管连接孔。本发明不仅可以对硅片提供稳定的吸附力，同时在取片时能自动将硅片顶离吸盘，可有效提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 gpp 工艺 光刻 硅片 吸盘 | ||
【主权项】：
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