[发明专利]红外热堆传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202010694077.9 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111854976A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 韩凤芹;刘孟彬;狄云翔 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种红外热堆传感器及其制作方法，包括：提供第一基板，所述第一基板包括第一区和第二区，所述第一基板具有相对的第一表面和第二表面；在所述第一区第一表面形成热电堆结构；在所述第二区第一表面形成热敏电阻结构；自所述第二表面刻蚀所述第一基板，在第一区形成热辐射隔离槽。本发明实施例所提供的红外热堆传感器的制作方法所得的红外热堆传感器热电堆结构和热敏电阻结构集成在第一基板上，集成度高，体积小，工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 红外 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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