[发明专利]用于晶圆翻转的机械手及机器人在审
| 申请号： | 202010702501.X | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN112060112A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 金泰永;曲扬;张琦辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J15/02;B25J11/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 何家鹏 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种用于晶圆翻转的机械手及机器人。本申请中的用于晶圆翻转的机械手包括基座、夹紧单元和翻转单元，夹紧单元与基座相连，用于对晶圆进行夹紧，翻转单元与基座相连，用于对基座进行翻转。根据申请中的用于晶圆翻转的机械手，通过移动机械手至晶圆的上方，夹紧单元对晶圆进行夹紧，翻转单元转动基座，基座翻转的同时带动夹紧单元和晶圆共同翻转，从而实现晶圆的抓取和翻转在同一机构上的共同操作，避免了晶圆由机械手转移至翻转机构的过程，从而减少了晶圆翻转过程的时间，提高了晶圆的检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 翻转 机械手 机器人 | ||
【主权项】：
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