[发明专利]压电微泵及气体检测装置在审
申请号: | 202010704824.2 | 申请日: | 2020-07-21 |
公开(公告)号: | CN111911396A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 钭忠尚;孟锴 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲显示科技有限公司 |
主分类号: | F04B45/047 | 分类号: | F04B45/047;F04B39/10;F04B39/08;F04B39/12;G01N33/00 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 陈实顺 |
地址: | 330013 江西省南昌*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种压电微泵及气体检测装置。压电微泵包括:泵体,一端具有开口的泵腔;盖体,设置于泵体的一端,且覆盖泵腔的开口,盖体具有与泵腔相连通的进气口和出气口;第一悬臂梁,设于盖体的一侧,且与所述泵体相对设置,第一悬臂梁在通电情况下朝靠近或远离泵体的方向振动;及第二悬臂梁,设于盖体的与第一悬臂梁相对的一侧,且与泵体相对设置,第二悬臂梁在通电情况下朝靠近或远离泵体的方向振动;其中第二悬臂梁与第一悬臂梁的振动方向相反。上述的压电微泵通过对第一悬臂梁和第二悬臂梁持续通电可使进气口和出气口规律性地进气和出气,安装在泵腔内的气体传感器能够快速地探测气体,效率较高。 | ||
搜索关键词: | 压电 气体 检测 装置 | ||
【主权项】:
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