[发明专利]一种阵列基板及其制备方法

摘要

本发明公开了一种阵列基板及其制备方法，阵列基板包括基板，其一侧表面依次设有阻隔层、有源层、第一绝缘层、第二绝缘层、第一介电层、第三绝缘层及第二介电层；第一凹槽，依次贯穿第二介电层、第三绝缘层、第一介电层、第二绝缘层、第一绝缘层、有源层以及部分的阻隔层，所述第一凹槽的底面位于所述阻隔层的内部；以及第一源漏电极，设于第二介电层远离第三绝缘层的一侧表面，且覆盖第一凹槽的内侧壁和底面，第一源漏电极连接至有源层。本发明的有益效果在于，本发明的阵列基板及其制备方法，第一凹槽的侧壁上设有一台阶面，源漏电极覆盖台阶面，从而具有一缓冲效果，避免由于第一凹槽的侧壁过长导致的源漏电极断裂的问题。