[发明专利]一种基板检测装置有效
| 申请号： | 202010707443.X | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111855669B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 候志翰 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215124 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子产品检测设备技术领域，具体公开了一种基板检测装置。该基板检测装置包括框体和支撑机构，支撑机构用于支撑待检测的基板，支撑机构滑动连接于框体，以在第一状态和第二状态之间切换，支撑机构处于第一状态和第二状态时在基板上形成的投影不重合。首先支撑机构处于第一状态，位于第一状态的支撑机构在基板上会形成投影，位于框体下侧的CCD相机无法检测到支撑机构在基板上的投影的区域，该区域为第一不检区。然后支撑机构在框体上滑动至第二状态，位于第二状态的支撑机构在基板上的投影形成第二不检区，处于第一状态和第二状态的支撑机构在基板上的投影不重合，进而使得基板的下表面均能够被检测到，保证检测结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 | ||
【主权项】：
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