[发明专利]样品台及具有该样品台的椭偏仪在审
| 申请号： | 202010711760.9 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN112066895A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 孟永宏;朱宗洋;王辉辉 | 申请（专利权）人： | 北京量拓科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/01;G01N21/21;H02K7/10;H02K7/06 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 侯巍巍 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种样品台及具有该样品台的椭偏仪，该样品台包括：基台；与所述基台连接的转动驱动机构，用于驱动所述基台在第一方向和第三方向形成的平面，和/或第二方向和第三方向形成的平面内转动；与所述转动驱动机构连接的线性驱动机构，用于驱动所述转动驱动机构在所述第一方向，和/或所述第二方向，和/或所述第三方向上往复运动。本申请能够快速、精确地寻找出被测曲面样品的最佳测量点。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 具有 椭偏仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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