[发明专利]一种铜磷蒸发料的处理工艺有效
| 申请号： | 202010711851.2 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111876787B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;毛杰 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/10 | 分类号： | C23G1/10;C22F1/08;C23G1/24;C23C14/14;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铜磷蒸发料的处理工艺，所述处理工艺包括对所述铜磷蒸发料依次进行的第一酸洗、热等静压扩散处理、研磨、第二酸洗、清洗及干燥，得到处理后的铜磷蒸发料；其中，所述研磨至少进行3次。本发明提供的处理工艺通过在处理工艺中特定的位置引入热等静压扩散处理及多次的研磨，解决了酸洗后的氧化问题，使得处理后的铜磷蒸发料使得蒸镀得到的膜具有高的纯度及致密性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 处理 工艺 | ||
【主权项】：
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