[发明专利]一种研磨平台的振动监测系统及振动监测方法在审
| 申请号： | 202010722645.1 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN113970370A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 叶顺成 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆宗力 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种研磨平台的振动监测系统及振动监测方法，其中，所述研磨平台的振动检测系统在皮带的传送面两侧分别设置第一监测模块和第二监测模块，并利用第一监测模块向所述皮带的传送面发送监测信号，利用所述第二监测模块接收除被所述皮带遮挡的监测信号外剩余的监测信号，并根据接收到的监测信号监测所述皮带的异常状态，实现对研磨平台的工作状态的监测，为判断研磨平台的工作状态是否异常奠定了基础，解决了现有技术中由于皮带的异常振动而导致研磨平台对晶圆的异常研磨的问题，避免了因此问题而导致的晶圆破损或晶圆制程不良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 平台 振动 监测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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