[发明专利]狭缝喷嘴及包括狭缝喷嘴的药液涂覆装置有效
| 申请号： | 202010736335.5 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN112295840B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 郑载勋;具世薰;金相薰 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种狭缝喷嘴及包括狭缝喷嘴的药液涂覆装置。药液供应装置可以包括狭缝喷嘴。所述狭缝喷嘴可包括具有用于药液流动的流路的本体部分、用于向所述基板上吐出通过所述本体部分的流路流动的所述药液的吐出部分以及用于调整所述吐出部分的间隙的间隙调整部分。所述间隙调整部分可以包括具有从所述本体部分的一侧向所述本体部分的内部延长的第一螺纹槽部分及从所述本体部分的内部向所述吐出部分延长的第二螺纹槽部分的螺纹槽部分、位于所述第一螺纹槽部分及所述第二螺纹槽部分之间的裂缝部分、具有结合于所述第一螺纹槽部分的第一螺纹部分及第二螺纹部分的调节螺母以及具有第一连结部分、连接部分及第二连结部分的固定螺栓。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 喷嘴 包括 药液 装置 | ||
【主权项】：
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