[发明专利]激光光源和包括该激光光源的激光晶化设备在审
申请号: | 202010737023.6 | 申请日: | 2020-07-28 |
公开(公告)号: | CN112510474A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 崔京植;申东勳;柳壎澈;金京睦;文载雄;朴京镐;石基焕;孙明石;李洪鲁 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01S3/08 | 分类号: | H01S3/08;H01L21/268;B23K26/06;H01S3/034 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 张晓;张逍遥 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供了一种激光光源和包括该激光光源的激光晶化设备。激光光源包括气密容器。第一共振镜和第二共振镜设置在气密容器外部。第一共振镜包括透镜单元和反射涂层。透镜单元包括第一表面和第二表面,并且第一表面相对于第二表面倾斜。 | ||
搜索关键词: | 激光 光源 包括 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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