[发明专利]适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备在审
| 申请号： | 202010738521.2 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111854410A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 金卫明;朱传兵;亓露;宋微;张翔 | 申请（专利权）人： | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 朱顺利 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，包括相对布置的两个吹扫机器人，吹扫机器人包括用于对扩散器进行吹扫的喷嘴和用于控制喷嘴进行移动的位置调节装置。本发明适于化学汽相沉积装置扩散器的吹扫设备，可以提高扩散器的吹扫工作效率，并可以提高安全性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 适于 化学 沉积 装置 扩散器 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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