[发明专利]一种自动上片机有效
| 申请号： | 202010740774.3 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111739780B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 赵成浩;李凯杰;郭明灿;王子龙 | 申请（专利权）人： | 山东元旭光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 殷盛江 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆上片技术领域，提供了一种自动上片机，包括机架，机架一端设有一晶圆料架，晶圆料架上设有第一晶圆定位机构；机架中间设有一上片机械臂，机架上还设有一定位台，定位台上设有若干第二晶圆定位机构；定位台与晶圆料架间设有翻片机构，机架上开设有一摄片孔，机架上安装有与摄片孔对应设置的拍摄机构；上片机械臂的两侧均滑动安装有定位托板，机架的另一端设有载具料筐，定位托板靠近载具料筐的一端安装有插杆；机架上沿定位托板的滑动方向还依次设有载具抬升机构、料盘取盖机构、自动上螺丝机构和螺丝供料器。本发明能够实现晶圆精准的自动上片，上片效率大大提高，且有效确保晶圆上片过程中晶圆质量及合格率不受影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 上片 | ||
【主权项】：
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