[发明专利]具有双重输出的高频发生器及其驱动方法在审
| 申请号： | 202010742873.5 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN113539773A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 金钟云;金仁范;柳承喜 | 申请（专利权）人： | 新动力等离子体株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 郭放;崔春植 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的具有双重输出的高频发生器，包括：高频放大部，放大预定电平的直流电压，以输出第一及第二高频放大信号；合路器，耦合所述第一高频放大信号和所述第二高频放大信号，以输出高频功率信号；高频传感器，配置在所述合路器的输出侧，并且检测流动于所述合路器的输出侧的电信号，以输出电检测信号；控制器，利用在外部施加的控制信号和所述电检测信号输出切换控制信号；及切换部，配置在所述合路器和等离子腔室之间，并且被所述切换控制信号控制，进而将所述高频功率信号提供于第一输出端子和第二输出端子。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 双重 输出 高频 发生器 及其 驱动 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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