[发明专利]蚀刻装置及蚀刻方法在审
| 申请号： | 202010749251.5 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111825338A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 李婷;逯正旺;赵学军 | 申请（专利权）人： | 凯茂科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢岳鹏 |
| 地址： | 518106 广东省深圳市光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蚀刻装置及蚀刻方法，包括：池体，池体上设置有第一反应槽；第一辅助装置，第一辅助装置包括第一放置架和第一驱动装置，至少一部分的第一放置架置于第一反应槽中，第一驱动装置能够驱使第一放置架沿前后方向作往复运动，以及能够驱使第一放置架沿左右方向作往复运动，第一驱动装置还能够驱使第一放置架沿上下方向运动。本发明能够使得处理后的玻璃的厚薄均匀，厚度误差小，玻璃的不良率低。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 装置 方法 | ||
【主权项】：
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