[发明专利]一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法有效
| 申请号： | 202010753121.9 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN112078039B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 唐亮;邢旭;李璐;刘云强 | 申请（专利权）人： | 乐山高测新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 任漱晨 |
| 地址： | 614800 四川省乐山市五*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶硅多线切割降低金刚线损耗的切割方法，属于晶硅加工技术领域，线网从左向右切割晶硅，切割过程依次包括第一切割过程和第二切割过程，第一切割过程中进线量大于回线量，第二切割过程中进线量小于回线长度，第一切割过程和第二切割过程采用已使用过的金刚线，实现金刚线的重复利用，降低金刚线的损耗，降低多线切割的成本，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶硅多线 切割 降低 金刚 损耗 方法 | ||
【主权项】：
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