[发明专利]石英粉研磨装置及系统在审
| 申请号： | 202010766175.9 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN111921634A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 马龙 | 申请（专利权）人： | 吉林华微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B02C15/14 | 分类号： | B02C15/14;B02C25/00 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 唐维虎 |
| 地址： | 132000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种石英粉研磨装置及系统，通过设计研磨平台，在研磨平台的上盖开设行程槽，控制组件控制研磨传动组件在行程槽的两端之间往复传动，并且研磨传动组件上设置有用于容置石英粉的研磨槽，研磨组件通过支撑组件固定于上盖上，在研磨传动组件的往复传动的过程中对石英粉进行研磨，并在支撑组件的控制下统一调整对石英粉的研磨力度。如此，通过模拟出操作员工的手工研磨流程并进行力度控制优化，能够提高石英粉研磨的力度均匀性，从而更好地达到均一性的研磨要求，进而便于提高后续双极集成电路产品的质量一致性，此外还可以有效降低操作人员的劳动强度，提高研磨效率。 | ||
| 搜索关键词： | 石英粉 研磨 装置 系统 | ||
【主权项】：
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