[发明专利]一种利用促进剂生长单层二硫化钼或二硒化钼的方法有效
申请号: | 202010770393.X | 申请日: | 2020-08-04 |
公开(公告)号: | CN111893565B | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 王珊珊;李守恒;徐淘;江天;程海峰 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军国防科技大学 |
主分类号: | C30B25/00 | 分类号: | C30B25/00;C30B29/46 |
代理公司: | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人: | 邱轶 |
地址: | 410073 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: |
本发明总体地涉及新型二维半导体材料制备技术领域,提供了一种利用促进剂生长单层二硫化钼或二硒化钼的方法,它使用化学气相沉积法(CVD)在促进剂碱土金属氯化物的作用下在氧化硅基底上直接生长大尺寸、高质量、高光致发光强度的二硫化钼(MoS |
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搜索关键词: | 一种 利用 促进剂 生长 单层 二硫化钼 二硒化钼 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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