[发明专利]一种利用促进剂生长单层二硫化钼或二硒化钼的方法有效

专利信息
申请号: 202010770393.X 申请日: 2020-08-04
公开(公告)号: CN111893565B 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 王珊珊;李守恒;徐淘;江天;程海峰 申请(专利权)人: 中国人民解放军国防科技大学
主分类号: C30B25/00 分类号: C30B25/00;C30B29/46
代理公司: 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 代理人: 邱轶
地址: 410073 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明总体地涉及新型二维半导体材料制备技术领域,提供了一种利用促进剂生长单层二硫化钼或二硒化钼的方法,它使用化学气相沉积法(CVD)在促进剂碱土金属氯化物的作用下在氧化硅基底上直接生长大尺寸、高质量、高光致发光强度的二硫化钼(MoS2)和二硒化钼(MoSe2)单晶或薄膜,该方法包括:生长基底的预处理,旋涂碱土金属氯化物溶液在基底表面,以及三氧化钼与硫或硒在处理后的基底表面发生化学气相沉积法(CVD)制备单层二硫化钼(或二硒化钼)单晶以及连续膜等步骤。本发明方法制备的样品在实现大尺寸单层晶粒制备的同时,具备良好的结晶性和高光致发光效率。
搜索关键词: 一种 利用 促进剂 生长 单层 二硫化钼 二硒化钼 方法
【主权项】:
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