[发明专利]一种实现多功能复合透明导电薄膜的方法及应用在审
| 申请号： | 202010773063.6 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN112071503A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 陈新亮;李跃龙;刘璋;侯国付;赵颖;张晓丹 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00 |
| 代理公司： | 天津耀达律师事务所 12223 | 代理人： | 张耀 |
| 地址： | 300350 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种实现多功能复合透明导电薄膜的方法及应用，属于光电子器件领域。利用真空镀膜技术生长氧化物薄膜，而磁控溅射技术生长超薄金属薄膜，并通过PS微球模板或光刻模板技术辅助构建金属网格结构，从而实现多功能复合薄膜Glass/Oxide‑B/Metal‑Mesh/Oxide‑T。相比于常规TCO薄膜，本发明设计和实现的多功能复合薄膜Glass/Oxide‑B/Metal‑Mesh/Oxide‑T具有生长温度低，器件界面处低损伤，微观网格结构可调控，兼具透明导电以及传输电子或空穴等性能。该类型复合薄膜Oxide‑B/Metal‑Mesh/Oxide‑T可应用于光电子器件领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 多功能 复合 透明 导电 薄膜 方法 应用 | ||
【主权项】：
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