[发明专利]一种具有表面界面调控作用的多级次Cu膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202010776036.4 | 申请日： | 2020-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN111926299B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 曹丽莉;缪旻;高洪利 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/16;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 刘静培 |
| 地址： | 100089 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有表面界面调控作用的多级次Cu膜及其制备方法，通过先在衬底上沉积上一层超薄铜膜，再在控制条件下对超薄铜膜进行退火处理，最后在退火处理后的超薄铜膜表面再沉积一层铜膜，最终制得具有表面界面调控作用的多级次Cu膜；本发明所述多级次Cu膜的微纳复合结构的表面积和极性发生变化，导致表面对非极性气体或水蒸气的吸附特性发生转变，所述Cu膜可实现不采用表面修饰材料的情况下由超亲水到超疏水表面的可控调节，表面接触角在6度到152度之间转换；本发明所述多级次微纳复合结构为纳米团簇与纳米颗粒的复合、纳米颗粒与纳米孔洞或纳米团簇与纳米线的复合，在基本不改变材料的电学和热学性能的情况下，实现材料表面能的调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 表面 界面 调控 作用 多级 cu 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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