[发明专利]电子装置的制造方法在审
| 申请号： | 202010783545.X | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN112445078A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 庄峻源;陈明志;黄竞;王维仁;郑道隆 | 申请（专利权）人： | 群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张娜;刘芳 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学工*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露提供一种电子装置的制造方法。在电子装置的制造方法中，提供基板，在基板上配置装置层，且在装置层上配置光致抗蚀剂层。随后，在光致抗蚀剂层上配置光罩，且使用光源第一次照射光罩以形成第一曝光区域。然后，在基板与光罩之间进行相对移动，且使用光源第二次照射光罩以形成第二曝光区域，其中第一曝光区域与第二曝光区域部分重叠。之后，进行显影制程以形成图案化光致抗蚀剂层，以及进行蚀刻制程以形成图案化装置层。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
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