[发明专利]一种水平移动限位的离子注入用检测装置

摘要

本发明公开了一种水平移动限位的离子注入用检测装置，径向移动槽的内侧端成型为半圆柱槽状；径向移动槽径向移动设置有外限位板；外限位板的内侧端成型有左右贯穿的半圆柱槽状的外压槽；限位插孔的外侧壁成型有径向贯穿的矩形的径向导槽；径向导槽的外侧端与径向移动槽的内侧端连通；径向导槽内径向弹性伸缩设置有长方体状的内顶杆；内顶杆的内侧端成型有驱动块；扫描盘的左右移动设置有圆环状的限位环；限位环位于支撑底座的右侧；限位环的左端面上成型有若干圆周均匀分布的顶杆驱动块；顶杆驱动块的左端外侧成型为自左向右倾斜向外设置的倾斜面。