[发明专利]微型阀有效
申请号: | 202010789984.1 | 申请日: | 2020-08-07 |
公开(公告)号: | CN112628462B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 卢文剑;芝本繁明;高桥一法;佐藤彩夏 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | F16K99/00 | 分类号: | F16K99/00;F16K27/02 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种微型阀。在层叠构造的微型阀中提高异物混入时的密封性。微型阀(10)具有层叠构造,具备基座层(20)和隔膜层(30)。在基座层形成有用于向微型阀内导入气体的流入口(23)以及用于使该气体向外部流出的流出口。隔膜层与基座层相对地配置。隔膜层通过进行弹性变形而对自流入口向流出口的气体的流通和切断进行切换。隔膜层具有交替地形成有多个变形区域(33)和多个刚体区域(34)的结构,所述变形区域(33)能够随着气动流体向微型阀内流入而弹性变形。在隔膜层中,通过使多个变形区域的至少一部分弹性变形从而封闭流入口以及流出口中的至少一者。 | ||
搜索关键词: | 微型 | ||
【主权项】:
暂无信息
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