[发明专利]一种围栅器件的设计方法和装置在审
| 申请号： | 202010807267.7 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN114077815A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 孙立杰;蒋晓波;黄威森;余华涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市海思半导体有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 518129 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种围栅器件的设计方法及装置，涉及集成电路技术领域。用于解决围栅GAA结构的场效应器件的布局版图设计时间过长、效率较低的问题。该方法包括：根据中道MEOL电容模型和围栅GAA版图库经过编译生成MEOL动态链接库，其中，GAA版图库是围栅GAA结构的集成电路器件版图库，包括多个GAA版图，MEOL电容模型是基于GAA器件工艺设计参数的MEOL模型；通过调用MEOL动态链接库和后道BEOL电容模型得到GAA的电阻电容RC工艺数据库；根据当前版图设计对GAARC工艺数据库进行2.5D版图扫描，得到与当前版图设计匹配的RC寄生参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 器件 设计 方法 装置 | ||
【主权项】：
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