[发明专利]光刻用照光装置及自动调整其照度的方法在审
| 申请号： | 202010810303.5 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111965946A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王坦 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 刘泳麟 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光刻用照光装置及自动调整其照度的方法，所述装置包含：用于发出光线的一光投射单元、用于驱动所述光投射单元的一驱动单元、用于反射所述光线的一反射镜、用于感测所述反射镜上一光强度的一光感测器及用于根据所述光强度控制所述驱动装置移动所述光投射单元的一控制器。所述方法通过在所述驱动单元驱动所述光投射单元的X轴、Y轴及Z轴方向上移动所述光投射单元，根据感测所述反射镜上的一定点处的光强度，得出所述光投射单元的一最佳位置。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 用照光 装置 自动 调整 照度 方法 | ||
【主权项】：
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