[发明专利]预测晶圆失效率的方法及其装置在审
| 申请号： | 202010810614.1 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111985704A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 俞微;陈旭;魏峥颖 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/04 | 分类号： | G06Q10/04;G06F17/11;G06F16/215 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种预测晶圆失效率的方法及其装置。通过对多个目标晶圆的预定项目的测量结果和所述预定项目对应的项目失效率进行拟合运算，以获得目标晶圆的预测失效率，进而能够在晶圆的生产过程中即可以高效准确的预测目标晶圆的晶圆失效率。 | ||
| 搜索关键词： | 预测 失效 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
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