[发明专利]半导体存储装置在审
申请号: | 202010811306.0 | 申请日: | 2020-08-13 |
公开(公告)号: | CN113380810A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 樫山翔太;永嶋贤史 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/11521 | 分类号: | H01L27/11521;H01L27/11551;H01L27/11556 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明的实施方式提供一种能够适当地制造的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置具备:衬底;多个第1导电层,排列在第1方向上,且在第2方向上延伸;多个第2导电层,在第3方向上与多个第1导电层相隔而排列在第1方向上,且在第2方向上延伸;及第1半导体层,具备第1部分、第2部分及第3部分,该第1部分在第1方向上延伸,且与多个第1导电层对向,该第2部分在第1方向上延伸,且与多个第2导电层对向,该第3部分与第1部分及第2部分连接。如果将在第2方向及第3方向上延伸且包含第3部分的至少一部分的剖面设为第1剖面,在第3部分中,将第1剖面中的第3方向的假想中心线的一侧及另一侧设为第1区域、第2区域,将第3部分的第1区域及第2区域中的第2方向的最大宽度设为第1及第2宽度,将第3部分的假想中心线上的第2方向的宽度设为第3宽度,则第3宽度比第1及第2宽度小。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的