[发明专利]一种原位原子层沉积扫描电子显微镜在审
| 申请号： | 202010823490.0 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN111952138A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 张跃飞;屠金磊;张泽 | 申请（专利权）人： | 浙江祺跃科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;C23C16/455;C23C16/52;F16F15/02;F16M7/00;F16M11/42 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 代芳 |
| 地址： | 311500 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种原位原子层沉积扫描电子显微镜，涉及原位测试领域，包括机架，所述机架上设置有电镜腔室，所述电镜腔室一侧设置有开口，所述电镜腔室一侧的开口端固定连接有密封阀，所述密封阀远离所述电镜腔室的一侧固定安装有原子层沉积室，所述原子层沉积室远离所述密封阀的一侧固定安装有水平设置的磁力杆，所述磁力杆内活动穿设有磁力杆轴，所述磁力杆轴端部能够水平运动于原子层沉积室或电镜腔室内；所述电镜腔室顶部密封安装有电子枪，所述电镜腔室底部密封连接有分子泵。本发明能够进行原位原子层沉积的测试，且能对原子层沉积薄膜后材料的微观形貌全程动态监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 原子 沉积 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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