[发明专利]一种用于光刻机的防震装置及光刻机

摘要

本发明公开了一种用于光刻机的防震装置，具体涉及零部件检测领域，包括主体基座、气压密封器和磁悬防震机构，磁悬防震机构与气压密封器分别安装在主体基座中，气压密封器通过释放气体，磁悬防震机构包括磁悬移动板、密封滑球和导向板，所述磁悬移动板内嵌在所述导向板中，所述磁悬移动板在所述导向板中滑动安装；所述密封滑球活动安装在磁悬移动板与导向板之间；本发明还公开了采用该防振装置的光刻机。该装置结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，能满足该光刻机对基座的刚性需求和防微震要求，能够减少振动，进一步地提高加工精度。