[发明专利]一种异质结太阳能电池的制作方法

摘要

本发明公开了一种异质结太阳能电池的制作方法，包括：提供N型单晶硅片；通过制绒清洗工艺在单晶硅片正面形成金字塔绒面结构；通过化学抛光清洗工艺在单晶硅片背面形成半抛光结构；依次设在硅片正面金字塔表面的第一本征非晶硅层、n型掺杂非晶硅层、第一透明导电膜层、第一金属电极；依次设在硅片背面半抛光表面的第二本征非晶硅层、p型掺杂非晶硅层、第二透明导电膜层、第二金属电极。本发明通过将电池背面设置为半抛光面，使电池背面非晶硅膜层更加均匀，从而实现更好的钝化效果；提高电池背面反射，从而提高电池电流；减少电池背面20％‑30％透明导电膜沉积，大幅降低透明导电膜成本。