[发明专利]存储器及其制作方法有效
| 申请号： | 202010832602.9 | 申请日： | 2020-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN114078853B | 公开（公告）日： | 2023-02-24 |
| 发明（设计）人： | 刘志拯 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H10B12/00 | 分类号： | H10B12/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种存储器及其制作方法，存储器包括：沿第一方向延伸的有源区和沿第二方向延伸的字线，所述字线部分位于相邻所述有源区之间，所述字线包括栅导电层，在平行于所述第一方向上，所述有源区具有朝向所述字线的端面，且所述端面与所述栅导电层之间的间距的极差处于预设范围内。本发明有利于降低字线之间的信号干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 存储器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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