[发明专利]一种粉末样品的高真空封装装置

摘要

本发明提供一种粉末样品的高真空封装装置，包括真空回路、高真空支路、第一换向装置以及第二真空规管，真空回路中连接有真空泵、缓冲主路、止回阀和石英安瓿，缓冲主路连接有节气阀和缓冲室，石英安瓿用于盛放粉末样品；高真空支路连接有溅射离子泵和第一真空规管；第一换向装置连接真空回路和高真空支路，用于使高真空支路串联至真空泵和节气阀之间形成高真空回路、和/或使真空回路连通形成低真空回路，第一真空规管用于测量高真空回路中的真空度；第二真空规管用于测量低真空回路中的真空度。本发明提出的技术方案的有益效果是：实现把样品封装在石英安瓿里，同时使安瓿保持高真空状态，并且防止粉末样品在抽真空过程中的喷溢。