[发明专利]一种基于纳米压入技术直接拉伸测量薄膜粘附能的方法有效
| 申请号： | 202010838058.9 | 申请日： | 2020-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN112082939B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 叶岚;宋双喜 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 叶敏华 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于纳米压入技术直接拉伸测量薄膜粘附能的方法，该方法利用现有的聚焦离子束刻蚀出“工字形”的薄膜横截面样品，将此试样焊接至推拉式(Push to Pull，PTP)装置上，再基于纳米压入技术直接单向拉伸，修正应力位移数据得到薄膜的粘附能。与现有技术相比，本发明具有直接定量测量薄膜材料与基体的粘附力，数据分析过程简单，测量精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 技术 直接 拉伸 测量 薄膜 粘附 方法 | ||
【主权项】：
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