[发明专利]一种半导体离子注入传输装置及离子注入设备

摘要

本发明涉及输送技术领域，具体涉及一种半导体离子注入传输装置及离子注入设备。半导体离子注入传输装置，包括托盘、传输组件、加热组件和测温组件；传输组件与托盘连接，传输组件用于带动托盘移动；托盘包括容纳部，容纳部用于放置传输件；加热组件与托盘连接，加热组件用于加热传输件；测温组件与托盘和加热组件连接，测温组件用于测量传输件的温度，并将温度信号传输给加热组件。加热组件根据测温组件测得的温度调整对传输件的加热情况，使得传输件在传输过程中进行预热，实现温度的升高且温度控制在设定范围内，该设定温度范围即为传输件合适的加工温度范围，以有益于传输件后续的加工生产，如离子注入工艺的生产。