[发明专利]不良品检测打标机

摘要

本发明公开了一种不良品检测打标机，涉及半导体制造技术领域，特别涉及不良品检测打标机。解决了人工打废容易打偏、打错，而且定位困难，效率低，还存在一些损坏基板隐患的问题。包括用于放置基板的工作轨道，工作轨道两端分别设有上料装置和下料装置，上料装置将基板送入工作轨道，下料装置将检测完的基板进行收集；工作轨道上设有用于驱动基板沿工作轨道长度方向移动的驱动件；工作轨道上还设有检测件和标记件，检测件扫描检测基板上的所有芯片，标记件根据扫描结果在基板表面对不良芯片刻标记。达到了通过自动上下料、打标识的作用方式进行作业，为后续切割提供了必要条件，定位准，效率高的效果。