[发明专利]一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法及真空气囊在审
| 申请号： | 202010849040.9 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN112030131A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 叶飞;刘晓萌 | 申请（专利权）人： | 无锡爱尔华光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云;黄莹 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法，其可以有效的缩短真空腔体抽气时间，提高工作效率，降低加工成本。本发明技术方案中，通过设置一种真空气囊，将真空气囊预先进行真空抽气，然后放入进出片腔体，达到缩短抽真空时间，提高工作效率的目的。同时本发明还公开了一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 生产线 空腔 提速 方法 真空 气囊 | ||
【主权项】：
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